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新聞 / 文章薄膜厚度測(cè)量?jī)x能夠達(dá)到較高的分辨率，如某些設(shè)備的分辨率可達(dá)0.1，偏差小，可以滿...
2025-09-08薄膜應(yīng)力測(cè)量系統(tǒng)能夠?qū)崿F(xiàn)較高的測(cè)量精度，可準(zhǔn)確到兆帕(MPa)甚至更高量級(jí)。無論是微弱的拉應(yīng)力還是壓應(yīng)力，都能準(zhǔn)確捕捉。這得益于傳感器技術(shù)與精密的算法處理，如高精度的位移傳感器能分辨出微小的基底形變，光學(xué)干涉儀可準(zhǔn)確感知光程差的細(xì)微變化，從...
2025-08-25Product / display
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