AT 臭氧發(fā)生器 采用高品質(zhì)元器件，能以極小的體型提供高濃度(最高 12%)臭氧。該系統(tǒng)無(wú)需昂貴且笨重的水冷裝置，內(nèi)置的高速風(fēng)扇即使在長(zhǎng)時(shí)間或持續(xù)使用時(shí)，也能保持等離子體室的冷卻?？稍诔粞?、氧氣和關(guān)閉狀態(tài)之間進(jìn)行手動(dòng)或自動(dòng)切換。
特征
· 臭氧產(chǎn)生范圍：低流量時(shí) 12% 重量%，高流量時(shí) 6%。
· 集成 O2 調(diào)節(jié)器：3 – 29 psi
· 用于非循環(huán)臭氧流的高容量臭氧破壞器
· 可通過(guò) 3 – 24V 輸入信號(hào)控制
· 用于手動(dòng)臭氧控制的超控開(kāi)關(guān)
· 用于選擇 O2 或臭氧輸出的前面板開(kāi)關(guān)
規(guī)格
· 臭氧產(chǎn)生范圍：低流量 (250 sccm) 時(shí) 12% 至高流量 (2500 sccm) 時(shí) 6% (按重量計(jì))
電暈電池由鋁制成，帶陶瓷電介質(zhì)
工作頻率：5,000 – 30,000 Hz
· 氧氣/臭氧流量范圍：25 – 2500 sccm，帶面板集成流量控制
· 集成 O2 調(diào)節(jié)器：3-29 psi 范圍
· 自動(dòng)臭氧控制需要 3-24V 直流輸入信號(hào)
· 110 – 220 伏交流電，60/50 赫茲，2A
· 重量 15 磅
· 尺寸：10.3 英寸寬 x 7.5 英寸高 x 20 英寸深
選件
安全監(jiān)測(cè)儀
綠色：臭氧水平低于 1500 ppb
黃色：臭氧水平 1500ppb 至 3500 ppb
紅色：臭氧水平大于 3500ppb
監(jiān)控并與 AT 系列系統(tǒng)集成
檢測(cè)高達(dá) 5000ppb 或 5ppm
環(huán)境臭氧氣體的實(shí)時(shí)檢測(cè)
溫度和濕度檢測(cè)
帶 LCD 顯示屏的壁掛式支架
提供一個(gè)開(kāi)/關(guān)干接點(diǎn)繼電器輸出來(lái)控制臭氧發(fā)生器
將預(yù)先連接到臭氧發(fā)生器以進(jìn)行自動(dòng)關(guān)閉
安裝
有關(guān)確切的詳細(xì)信息和更多安全預(yù)防措施，請(qǐng)參閱 ATOzone – 安裝和作手冊(cè) ：
建議在后輸入管(1/4“ 世偉洛克壓縮接頭)輸入 98+% 氧氣(至少需要 90% 純度)
排氣口(1/4“ 世偉洛克壓縮接頭)能夠處理 0.5 scfh 的純 O2 到適當(dāng)?shù)能?chē)頂排氣或同等排放。
臭氧從前端口(1/4“ 世偉洛克壓縮接頭)出來(lái)，應(yīng)連接到 ALD 工具(也已適當(dāng)排氣)。
將電源線連接到背面(標(biāo)準(zhǔn) 110-220VAC)
將前面的 (O2) 壓力閥轉(zhuǎn)至 15 psi，將壓力表轉(zhuǎn)至 0.2 至 0.4 scfh
前面的開(kāi)關(guān)現(xiàn)在應(yīng)定位為 O3(臭氧)
如果所有連接都已建立，則當(dāng)發(fā)出 + 3 至 24V 控制信號(hào)時(shí)，控制 O2 流量的閥門(mén)將打開(kāi)(將產(chǎn)生臭氧)。事先確保排氣管連接正確！任何時(shí)候都不要排氣到房間。
臭氧也可以通過(guò)提起背面的紅色保護(hù)器并向上翻轉(zhuǎn)手動(dòng)臭氧開(kāi)關(guān)來(lái)產(chǎn)生。
– 現(xiàn)在打開(kāi)前面板臭氧開(kāi)關(guān) (O3) 會(huì)將臭氧輸送到前端口(進(jìn)入適當(dāng)排氣的 ALD 工具)。
關(guān)閉背面的保護(hù)蓋可關(guān)閉臭氧。
AT 臭氧發(fā)生器 連接到真空系統(tǒng)時(shí)， 始終保持系統(tǒng)上流動(dòng)的氧氣正壓。在 ATOzone 系統(tǒng)上拉動(dòng)真空將使保修失效 。
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