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等離子刻蝕ICP
快速退火爐
薄膜沉積系統(tǒng)
KLA iMicro納米壓痕儀
薄膜厚度測量儀
KLA Candela® 8420表面缺陷檢測系統(tǒng)
AT810 經(jīng)濟(jì)性原子層沉積設(shè)備
AT610 經(jīng)濟(jì)性原子層沉積設(shè)備
AT 臭氧發(fā)生器
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