勻膠旋涂機(jī)機(jī)身采用全工程塑料制作，您可以根據(jù)自身需求選擇通用的α相NPP-H材質(zhì)機(jī)型或高密度PTFE材質(zhì)機(jī)型。

　　勻膠旋涂機(jī)產(chǎn)品主要特點(diǎn)：

　　1、開關(guān)電流調(diào)速，穩(wěn)定性能更好，轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)以數(shù)字顯示為準(zhǔn)。

　　2、轉(zhuǎn)速在500～8000轉(zhuǎn)／分范圍內(nèi)非常穩(wěn)定。

　　3、勻膠旋涂機(jī)采用雙轉(zhuǎn)速。在啟動(dòng)之后，先以低速運(yùn)轉(zhuǎn)，使膠攤開，然后自動(dòng)轉(zhuǎn)換到高速運(yùn)轉(zhuǎn)。兩種轉(zhuǎn)速及相應(yīng)的時(shí)間分別可調(diào)，時(shí)間分別控制在1～18秒和3秒～1分鐘。

　　4、具有定時(shí)功能。

　　5、勻膠旋涂機(jī)測速采用光電的辦法，產(chǎn)生光電脈沖，由晶體分頻測速準(zhǔn)確性高。

　　6、"吸片"采用電磁閥控制氣路，一個(gè)氣泵可同時(shí)帶幾臺勻膠機(jī)工作，適合流水線的工藝，提高了效率。

　　7、在安裝結(jié)構(gòu)上，采取了減振措施，保證了在運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)噪音低。

　　選購勻膠旋涂機(jī)需要注意的三個(gè)要素：

　　1、旋轉(zhuǎn)速度

　　轉(zhuǎn)速的快慢和控制精度直接關(guān)系到旋涂層的厚度控制和膜層均勻性。如果標(biāo)示的轉(zhuǎn)速和電機(jī)的實(shí)際轉(zhuǎn)速如果誤差很大，對于要求精密涂覆的科研人員來說是無法獲得準(zhǔn)確的實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)的。國產(chǎn)的某些勻膠機(jī)只能提供轉(zhuǎn)速范圍，并不能標(biāo)定實(shí)時(shí)的轉(zhuǎn)速。進(jìn)口的勻膠旋涂機(jī)雖然大部分能標(biāo)定轉(zhuǎn)速，但是大部分轉(zhuǎn)速精度沒有標(biāo)準(zhǔn)認(rèn)定。建議購買轉(zhuǎn)速控制方面有認(rèn)定標(biāo)準(zhǔn)的，比如：美國NIST標(biāo)準(zhǔn)等。

　　2、真空吸附系統(tǒng)的構(gòu)造

　　真空泵一定要無油的，壓力標(biāo)定準(zhǔn)確，國內(nèi)生產(chǎn)的無油真空泵實(shí)在不敢恭維。因?yàn)槿魏蔚挠臀鄱伎赡芏氯婵展艿溃绻婵瘴搅档停瑫?dǎo)致基片吸附不住而產(chǎn)生“飛片”的情況，還會讓滴膠液不慎進(jìn)入真空管道系統(tǒng)造成*堵塞。用過國產(chǎn)勻膠旋涂機(jī)的客戶常常會關(guān)心怎么清洗的問題，這一點(diǎn)許多國外的勻膠機(jī)做得不錯(cuò)，他們有通過聯(lián)動(dòng)機(jī)制，如果真空吸附力不夠的時(shí)候，不會開始旋轉(zhuǎn)。

　　3、材質(zhì)的選擇

　　對于半導(dǎo)體化工行業(yè)的應(yīng)用來說，材質(zhì)的選擇尤為關(guān)鍵，大部分勻膠機(jī)采用的是不銹鋼或者普通塑料材質(zhì)，因?yàn)檫@種材質(zhì)的成本很低，不銹鋼的對于各類化工膠液的抗腐蝕性不太好，塑料對于較高溫度和壓力下易產(chǎn)生變形。如果這種變形引起托盤的位置失去水平的話，將會導(dǎo)致旋涂時(shí)，時(shí)高時(shí)低的顛簸狀態(tài)。自然無法得到好的旋涂效果。例如美國Laurell的WS-400B，500B，650等型號都是采用天然聚丙烯（NPP）或者聚四氟乙烯特氟隆, PTFE材質(zhì)。這兩種材質(zhì)具備綠色環(huán)保、節(jié)約資源、重量輕、強(qiáng)度大、抗沖擊性能好、堅(jiān)固耐用、花紋自然、光澤度好等優(yōu)點(diǎn)。

　　勻膠旋涂機(jī)主要用于液體，膠體在材料表面薄膜的形成，適用于硅片，晶片，玻璃，陶瓷等制版表面涂覆工藝。勻膠旋涂機(jī)可在科研，教育，生產(chǎn)中應(yīng)用。適用于清洗、甩干、涂膠、顯影和刻蝕等多種工藝。