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KLA iMicro納米壓痕儀可輕松測量硬質涂層、薄膜和小尺寸材料等。其準確、靈活，并且用戶友好，可以提供壓痕、硬度測試、劃痕和納米級萬能試驗等多種納米力學測試。作動器易于更換，能夠提供大范圍的動態載荷和位移，對于從軟質聚合物到硬質金屬/陶瓷等材料，均可以進行準確而可重復的測試。模塊化的功能選項可以適配各種應用：材料力學特性圖譜、頻率相關特性測試、劃痕和磨損測試以及高溫測試。

KLA Filmetrics F50薄膜厚度測量儀采用自動化R-Theta平臺，支持標準和定制化樣品夾盤，最大樣品直徑達450毫米，能高效測繪薄膜厚度。該設備適用于多種厚度和類型的薄膜，包括薄至5納米或厚至250微米的薄膜，并可根據不同需求選擇不同波長范圍的型號。

KLA Candela® 8420表面缺陷檢測系統它使用多通道檢測和基于規則的缺陷分類，對不透明、半透明和透明晶圓(如砷化鎵、磷化銦、鉭酸鋰、鈮酸鋰、玻璃、藍寶石和其他化合物半導體材料)提供微粒和劃痕檢測。 8420表面缺陷檢測系統采用了專有的OSA（光學表面分析儀）架構，可以同時測量散射強度、形貌變化、表面反射率和相位變化，從而對各種關鍵缺陷進行自動檢測與分類。

KLA Filmetrics F40薄膜厚度測量儀通過將顯微鏡轉變為薄膜測量工具，實現小至1微米光斑的厚度和折射率測量。該設備配備集成彩色攝像機，可在1秒內完成測量，并且支持多種型號以適應不同厚度和波長范圍的需求。用戶只需將其連接至Windows計算機并通過USB端口操作即可。此外，F40系列提供全面的技術支持和材料庫，方便用戶進行精確測量。

KLA Filmetrics F30薄膜厚度測量儀通過實時監控沉積過程，提供高精度、快速且非侵入式的測量解決方案，適用于多種半導體和電介質材料。其主要特點包括提高生產力、低成本、高精度及易用性。該系列產品覆蓋不同厚度和波長范圍，滿足多樣化測量需求。